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웨이퍼 장비
 
[웨이퍼 마운터]<br> P200/300<br>최대 300mm 웨이퍼
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상품명 [웨이퍼 마운터]
P200/300
최대 300mm 웨이퍼
원산지 유럽
 

 

"P-200" 웨이퍼 마운터 - 최대 8" 웨이퍼 및 프레임


P-200 웨이퍼 마운터는 최대 8"의 웨이퍼/기판 및 프레임에 필름을 한 번에 접착하도록 제작되었습니다. 웨이퍼는 정전기 방지 프릿(카본)에 장착하는 동안 진공 상태로 유지됩니다.
이 프릿은 부착 공정 중에 웨이퍼 표면을 보호하고 먼지 입자를 흡수합니다.
고무 롤러를 사용하여 포일을 기포 없이 장착합니다.
절단 장치를 사용하면 필름이 프레임에서 절단되고 필름 롤의 가로 지름으로 분리됩니다.

주요 특징들

  • 접착 테이프와 웨이퍼를 프레임에 한 번에 장착, 최대 8"
  • 직사각형 기판, 웨이퍼의 일부 및 범프 웨이퍼를 처리할 수 있습니다.
  • 최대 30µ 두께의 웨이퍼를 처리할 수 있습니다.
  • 다양한 웨이퍼, 프레임 및 호일 유형으로 빠르고 쉽게 변환
  • 컴팩트하고 견고한 테이블 디자인
  • 짧은 설치 및 시작 시간
  • 낮은 운영 비용
  • IEC 204-1 안전 표준 준수
  • UPH, 장착된 웨이퍼/h 최대 80개

 


< Model Image>




P 200

P 300

 

<부분 장치 사진>

P 300

 

 

 

  P200 P300
Width/Depth/Height (mm) 460/680/230 mm 600/855/245 mm
with Protection Tape Winder Depth (mm) 830 mm 1,005 mm
Weight (kg) 19 kg 24 kg
with Protection Tape Winder (kg) 25 kg 31 kg
Tape Width (mm) 150 to 300 250 to 400
Wafer Diameter (mm) up to 8 inch (200mm) up to 300 mm
Frame Type K & S or Disco (Steel or Plastic)
Vacuum (Ø 4 mm min. 75% or 188 mm Hg min. 75% or 188 mm Hg

 

 

 

Option

  • 필름 프레임 변환 키트 6"
  • UV필름(PTW)용 보호필름 자동 롤업
  • Anti Static Bar(ASB)-230V
  • 이온화 스프레이 바 Anti Ionizing Blower(AIB)-230V
  • 크린룸에 적합한 서포트 테이블